ഇൻഡക്ഷൻ ഉപയോഗിച്ച് mocvd റിയാക്ടർ ചൂടാക്കുന്നു
ഇൻഡക്ഷൻ ഹീറ്റിംഗ് മെറ്റൽ ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (എംഒസിവിഡി) റിയാക്ടറുകൾ ചൂടാക്കൽ കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും ഗ്യാസ് ഇൻലെറ്റുമായുള്ള ഹാനികരമായ മാഗ്നറ്റിക് കപ്ലിംഗ് കുറയ്ക്കുന്നതിനും ലക്ഷ്യമിട്ടുള്ള ഒരു സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്. പരമ്പരാഗത ഇൻഡക്ഷൻ-ഹീറ്റിംഗ് MOCVD റിയാക്ടറുകൾക്ക് പലപ്പോഴും ചേമ്പറിന് പുറത്ത് ഇൻഡക്ഷൻ കോയിൽ ഉണ്ട്, ഇത് കാര്യക്ഷമത കുറഞ്ഞ ചൂടാക്കലിനും ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റത്തിൽ കാന്തിക ഇടപെടലിനും കാരണമാകും. സമീപകാല… കൂടുതല് വായിക്കുക